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Morales Sánchez, Alfredo (Date of defense: 2008-09-02)
En esta tesis, capas de óxido de silicio rico en silicio [SRO, (SiOx, x<2)] con diferentes excesos de silicio fueron depositadas por medio de la técnica de depósito químico en fase vapor a baja presión (LPCVD). Un segundo ...