Modelado y desarrollo de microcantilevers resonantes para sensores 

Narducci Marín, Margarita Sofía (Date of defense: 2010-10-25)

Esta tesis está enfocada en el diseño, simulación, fabricación y caracterización de sensores de masa basados en microcantilevers de silicio. Los cantilevers con forma de T son diseñados como estructuras formadas por 3 ...