Integration of CMOS-MEMS resonators for radiofrequency applications in the VHF and UHF bands 

Teva Meroño, Jordi (Date of defense: 2007-07-26)

Aquesta tesi doctoral te com a objectiu fonamental la integració monolítica de microressonadors en una tecnologia comercial, AMS 0.35um, tot utilitzant les capes disponibles del procés tecnològic. Les estructures son ...